表面平整度高:为减少信号散射,电镀层需具备的表面平整度,特别是在微带线、共面波导等结构中,通常要求镀层表面粗糙度 Ra<0.5μm。
图形电镀:通过光刻技术定义线路图形,然后对图形区域进行电镀加厚,如镀铜至 5-15μm,以形成导线主体。对于高频高速线路板,常采用脉冲电镀或周期反向电镀,以改善镀层结晶结构。
信号性能相关故障
阻抗超标:高频信号传输时阻抗波动超过 ±3%,导致信号反射、损耗增大。除了镀层厚度不均,还可能是镀层结晶结构不佳(如铜镀层晶粒粗大),或线路侧蚀严重破坏阻抗设计。
高频损耗异常:插入损耗、回波损耗不达标,常见于脉冲电镀工艺参数不当。比如脉冲频率、占空比设置不合理,导致镀层趋肤效应增强,信号衰减加剧。
去胶与蚀刻:剥离多余金属
用化学脱胶剂或等离子体去除表面光刻胶 / 干膜,露出下方未被电镀覆盖的种子层。
采用微蚀工艺,蚀刻掉多余种子层,仅保留电镀形成的功能线路,控制侧蚀量≤0.5μm。
蚀刻后彻底水洗,避免残留药剂腐蚀镀层或基材。

